Vergleich der Plasmaparameter induktiv gekoppelter Niederdruckplasmen

In dieser Arbeit werden die Plasmaparameter eines planar induktiv gekoppelten Argonplasmas im Niederdruckbereich bei der Einkopplungsfrequenz von 27,12MHz und 2MHz experimentell untersucht und miteinander verglichen. Hintergrund dieser Untersuchungen ist das langfristige Ziel, die Einkopplungseffizienz des verwendeten ICP-Experiments, das mit einer Einkopplungsfrequenz von 27,12MHz betrieben wird, durch die Verwendung eines aus Ferriten bestehenden ferromagnetischen Schirms zu steigern. Die dafür genutzte magnetfeldkonzentrierende Eigenschaft der Ferrite ist aber nur bei Frequenzen im Bereich weniger Megahertz wirksam, da die magnetische Permeabilität der Ferritkerne bei höheren Frequenzen verschwindet. Der Umstieg auf eine HF-Einkopplung mit Ferriten erfordert somit den Wechsel auf eine niedrigere Einkopplungsfrequenz. Zu diesem Zweck ist ein HF-Generator vorgesehen, der bei 2MHz arbeitet.